标题 |
Super stealth dicing of transparent solids with nanometric precision
透明固体纳米级超隐身切割
相关领域
晶片切割
材料科学
薄脆饼
纳米技术
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DOI | |
其它 |
期刊:Cornell University - arXiv 作者:Zhen‐Ze Li; Hua Fan; Lei Wang; Xueyan Zhao; Zuyan Xu; et al 出版日期:2023-01-01 |
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