Ultrafast pulsed laser stealth dicing of 4H-SiC wafer: Structure evolution and defect generation

已完结

文献求助详情

标题	Ultrafast pulsed laser stealth dicing of 4H-SiC wafer: Structure evolution and defect generation 4H-SiC晶片的超快脉冲激光隐身切割：结构演化与缺陷产生相关领域晶片切割材料科学激光器飞秒薄脆饼超短脉冲光学光电子学皮秒超快激光光谱学通量物理
网址	https://doi.org/10.1016/j.jmapro.2022.06.064
DOI	10.1016/j.jmapro.2022.06.064 doi
其它	期刊：Journal of Manufacturing Processes 作者：Lingfeng Wang; Chen Zhang; Feng Liu; Hao Zheng; Guanjun Cheng 出版日期：2022-09-01
求助人	zz 在 2025-02-20 10:40:20 发布自湖北，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，让科研之路畅通无阻

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 大模型的应助被盛夏细闻采纳，获得10

刚刚; zhaozaozao123完成签到，获得积分10

1秒前; 涂山巫巫完成签到，获得积分20

1秒前; mhk0517完成签到，获得积分10

1秒前; xyq完成签到，获得积分10

2秒前; 小刘完成签到，获得积分10

2秒前; 心灵美的白卉完成签到，获得积分10

2秒前; 小何完成签到，获得积分10

2秒前; 负责冰海发布了新的文献求助10

2秒前; 笑点低的云朵的应助被猪猪朱采纳，获得10

6秒前; Ava上传了应助文件

7秒前; 海孩子发布了新的文献求助10

8秒前; Superman完成签到，获得积分10

8秒前; 所所的应助被ssss采纳，获得10

9秒前; 罗小小完成签到，获得积分10

10秒前; ding的应助被孔wj采纳，获得10

10秒前; 大模型上传了应助文件

11秒前; 在水一方的应助被哈哈采纳，获得10

12秒前; 共享精神上传了应助文件

12秒前; 从容的无极的应助被Forever采纳，获得10

12秒前; 英俊的沛容发布了新的文献求助10

13秒前; Owen上传了应助文件

13秒前; 盛夏细闻发布了新的文献求助10

14秒前; Lucky完成签到，获得积分10

15秒前; 一个小柠檬发布了新的文献求助10

16秒前; mhk0517发布了新的文献求助10

16秒前; Lotus发布了新的文献求助10

16秒前; 想喝冰美发布了新的文献求助10

17秒前; guozizi发布了新的文献求助10

19秒前; 盛夏细闻完成签到，获得积分10

20秒前; 罗阳老俞完成签到，获得积分10

20秒前; 万能图书馆的应助被生动哈密采纳，获得10

21秒前; zzt上传了应助文件

22秒前; Singularity举报着急的小蘑菇的求助涉嫌违规

23秒前; Bethune完成签到，获得积分10

25秒前; ice发布了新的文献求助10

26秒前; 所所上传了应助文件

26秒前; 科研通AI2S的应助被zhangxuanhao采纳，获得10

26秒前; 领导范儿的应助被谢谢采纳，获得10

27秒前; 从容的无极的应助被Forever采纳，获得10

29秒前