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 Removal of Fluorinated Compound Gases by an Enhanced Methane Microwave Plasma Burner 用增强型甲烷微波等离子体燃烧器去除氟化化合物气体
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Yong Cheol Hong; Taihyeop Lho; DongHun Shin; Han S. Uhm 出版日期：2010-01-20 |
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