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标题
P‐2: Self‐Aligned Indium Gallium Zinc Oxide Thin‐Film Transistor with Source/Drain Regions Treated by NH3Plasma
P-2：用NH3等离子体处理源极/漏极区域的自对准铟镓锌氧化物薄膜晶体管
相关领域
薄膜晶体管 镓 锌 材料科学 铟 等离子体 晶体管 分析化学（期刊） 光电子学 纳米技术 冶金 化学 电气工程 图层（电子） 色谱法 物理 电压 工程类 量子力学
网址
https://doi.org/10.1002/sdtp.11871
DOI
10.1002/sdtp.11871 doi
其它 期刊：SID Symposium Digest of Technical Papers
作者：Jiangbo Chen; Pengfei Gu; Dini Xie; Wei Liu; Hongda Sun; et al
出版日期：2017-05-01
求助人
LEE123 在 2025-02-11 14:48:18 发布自广东，悬赏 10 积分
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