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 A review on microholes formation in glass-based substrates by electrochemical discharge drilling for MEMS applications 应用于MEMS的电化学放电钻孔法在玻璃基板上形成微孔的研究进展
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期刊：Machining Science and Technology 作者：Tarlochan Singh; Julfekar Arab; Pradeep Dixit 出版日期：2022-03-04 |
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