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标题
Intermediate gas phase precursors during plasma CVD of HMDSO
HMDSO等离子体CVD过程中的中间气相前驱体
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网址
https://doi.org/10.1016/s0042-207x(02)00763-7
DOI
10.1016/s0042-207x(02)00763-7 doi
其它 期刊：Vacuum
作者：D. Theirich; Ch. Soll; F. Leu; J. Engemann
出版日期：2003-04-24
求助人
醉熏的井 在 2025-04-28 00:44:41 发布自广东，悬赏 10 积分
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