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 Optical element surface defects detection and quantitative evaluation standard based on dark-field imaging 基于暗场成像的光学元件表面缺陷检测及定量评价标准
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期刊：Twelfth International Conference on Information Optics and Photonics 作者：Yongying Yang; Weimin Lou; Pengfei Zhang; Fanyi Wang; Zichen Lu; et al 出版日期：2021-11-01 |
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