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Preparation and characterization of chromium oxide thin films: The response of morphology, crystal structure, and electrical properties to oxygen pressure under magnetron sputtering
氧化铬薄膜的制备与表征:磁控溅射下形貌、晶体结构和电学性能对氧压的响应
相关领域
材料科学
溅射沉积
表征(材料科学)
铬
氧气压力
形态学(生物学)
氧气
薄膜
腔磁控管
氧化物
晶体结构
溅射
化学工程
Crystal(编程语言)
光电子学
冶金
化学
纳米技术
结晶学
地质学
有机化学
古生物学
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计算机科学
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