Effect of post-pattern annealing on the grain structure and reliability of Al-based interconnects

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标题	Effect of post-pattern annealing on the grain structure and reliability of Al-based interconnects 图案后热处理对铝基互连线颗粒结构和可靠性的影响相关领域退火（玻璃）电迁移材料科学合金粒度铝复合材料冶金
网址	https://doi.org/10.1063/1.362545
DOI	10.1063/1.362545 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Seung H. Kang; C. Kim; J. W. Morris; François Y. Génin 出版日期：1996-06-01
求助人	weeklywh 在 2024-09-09 14:36:55 发布自中国，悬赏 10 积分
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