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 书籍（章节） Effect of Discharge Properties of the Oxide High Barrier Film Deposited by Roll-to-Roll MF-PECVD 辊对辊MF-PECVD沉积氧化物高阻挡膜放电性能的影响
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期刊：Springer proceedings in physics 作者：Maojin Dong; Yudong Feng; Jizhou Wang; Lili Qin; Yi Wang; et al 出版日期：2023-01-01 |
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