Plasma-ion-assisted deposition of HfO2 films with low UV absorption

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标题	Plasma-ion-assisted deposition of HfO2 films with low UV absorption 等离子体离子辅助沉积低紫外吸收HfO2薄膜相关领域材料科学等离子体沉积（地质）吸收（声学）离子光电子学分析化学（期刊）化学工程纳米技术复合材料环境化学物理生物工程类量子力学古生物学化学沉积物
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S025789722...
DOI	10.1016/j.surfcoat.2020.125691 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Wenyuan Deng; Chunshui Jin; Chun Li; Shun Yao; Bo Yu; Yu Liu 出版日期：2020-05-13
求助人	挺好在 2024-08-22 10:17:11 发布自江苏，悬赏 10 积分
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