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 Deep-UV hexagonal boron nitride (hBN)/BAlN distributed Bragg reflectors fabricated by RF-sputtering 射频溅射制备深紫外六方氮化硼/BAlN分布布拉格反射器
相关领域
材料科学
溅射
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期刊：Optical materials express 作者：Qiang Li; Qifan Zhang; Yongkang Bai; Haoran Zhang; Peng Hu; et al 出版日期：2020-12-21 |
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