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 Reaction of Ozone and H2O2 in NH4OH Solutions and Their Reaction with Silicon Wafers 臭氧和H2O2在NH4OH溶液中的反应及其与硅片的反应
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Dae-Hong Eom; Geun-Bae Lim; Jin-Goo Park; Ahmed A. Busnaina 出版日期：2005-02-10 |
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