A highly efficient semi-finishing approach for polycrystalline diamond film via plasma-based anisotropic etching

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标题	A highly efficient semi-finishing approach for polycrystalline diamond film via plasma-based anisotropic etching 等离子体基各向异性刻蚀多晶金刚石薄膜的高效半精加工方法
网址	https://doi.org/10.1016/j.jmatprotec.2024.118578
DOI	10.1016/j.jmatprotec.2024.118578 doi
其它	期刊：Journal of Materials Processing Technology 作者：Nian Liu; Ling Lei; Huilong Jiang; Yongjie Zhang; Junfeng Xiao; et al 出版日期：2024
求助人	长度2到在 2024-08-31 14:35:30 发布自阿联酋，悬赏 10 积分
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