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 Electron power absorption in low pressure capacitively coupled electronegative oxygen radio frequency plasmas 低压电容耦合电负性氧射频等离子体中的电子功率吸收
相关领域
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期刊：Plasma Sources Science and Technology 作者：Máté Vass; Sebastian Wilczek; Trevor Lafleur; Ralf Peter Brinkmann; Z. Donkó; et al 出版日期：2019-12-05 |
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