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 The Si_xN_yH_z Passivation Study of Polycrystalline Silicon Solar Cells by PECVD PECVD法对多晶硅太阳电池Si_xN_yH_z钝化的研究
相关领域
等离子体增强化学气相沉积
钝化
多晶硅
氮化硅
材料科学
硅
光电子学
太阳能电池
单晶硅
纳米技术
图层（电子）
薄膜晶体管
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期刊：Equipment for Electronic Products Manufacturing 作者：YU Qing-rong 出版日期：2008-01-01 |
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