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标题
The Influence of Capping Layer Type on Cobalt Salicide Formation in Films and Narrow Lines
覆盖层类型对薄膜和窄线中硅化钴形成的影响
相关领域
材料科学 杀盐剂 硅化物 锡 薄板电阻 钴 图层（电子） 活化能 冶金 纳米技术 化学 有机化学
网址
https://doi.org/10.1557/proc-514-375
DOI
10.1557/proc-514-375 doi
其它 期刊：MRS Proceedings
作者：Paul R. Besser; A. Lauwers; N. Roelandts; Karen Maex; Werner Blum; et al
出版日期：1998-01-01
求助人
嘎嘎 在 2024-10-25 20:54:30 发布自韩国，悬赏 10 积分
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