AlN Thin Film Processing and Basic Properties

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标题	AlN Thin Film Processing and Basic Properties AlN薄膜的加工及基本性能相关领域材料科学纤锌矿晶体结构压电微电子机械系统薄膜谐振器光电子学 PMUT公司工程物理复合材料纳米技术冶金锌工程类
网址	http://dx.doi.org/10.1007/978-3-319-28688-4_1
DOI	10.1007/978-3-319-28688-4_1 doi
求助人	风中的夕阳在 2025-02-08 04:18:15 发布自美国，悬赏 10 积分
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