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标题
Facilitating Complex Thin Film Deposition by Using Magnetron Sputtering: A Review
磁控溅射促进复杂薄膜沉积的研究进展
相关领域
溅射沉积 薄膜 材料科学 制作 沉积（地质） 溅射 光电子学 高功率脉冲磁控溅射 纳米技术 适应性 工程物理 工艺工程 工程类 生物 替代医学 古生物学 病理 沉积物 医学 生态学
网址
https://doi.org/10.1007/s11837-022-05294-0
DOI
10.1007/s11837-022-05294-0 doi
其它 期刊：JOM
作者：Jie Li; Guang-Kun Ren; Jiahui Chen; X. Chen; Wenjie Wu; et al
出版日期：2022-04-21
求助人
zcw 在 2024-12-04 20:35:12 发布自山东，悬赏 10 积分
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