Fabrication and Evaluation of a Flexible MEMS-Based Microthermal Flow Sensor

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标题	Fabrication and Evaluation of a Flexible MEMS-Based Microthermal Flow Sensor 柔性MEMS微热流量传感器的研制与评价相关领域微电子机械系统流量传感器制作计算机科学流量（数学）工程类纳米技术系统工程材料科学声学物理机械医学替代医学病理
网址	https://www.mdpi.com/1424-8220/21/23/8153/pdf?version=163879...
DOI	10.3390/s21238153 doi
其它	期刊：Sensors 作者：Myoung-Ock Cho; Woo-Jin Jang; Si‐Hyung Lim 出版日期：2021-12-06
求助人	理工在 2025-02-23 16:18:02 发布自天津，悬赏 10 积分
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