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标题
High-quality indium-gallium-zinc oxide films synthesized by atomic layer deposition using a single cocktail precursor based on a liquid-delivery system and their applications for transistors and inverters
基于液体输送系统的单一混合物前驱体原子层沉积合成高质量铟镓锌氧化物薄膜及其在晶体管和反相器中的应用
相关领域
材料科学 原子层沉积 图层(电子) 晶体管 光电子学 纳米技术 薄膜晶体管 沉积(地质) 电气工程 冶金 工程类 电压 古生物学 沉积物 生物
网址
DOI
10.1039/d4tc01843e doi
其它 期刊:Journal of Materials Chemistry C
作者:Sang-Joon Park; Se-Ryong Park; Woo-Seok Jeon; Jong Mu Na; Jun Hyung Lim; et al
出版日期:2024-01-01
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lulu 在 2025-01-22 10:18:07 发布自广东,悬赏 10 积分
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