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 Field reversal in low pressure, unmagnetized radio frequency capacitively coupled argon plasma discharges 低压非磁化射频电容耦合氩等离子体放电中的场反转
相关领域
原子物理学
等离子体
电子
电场
容性耦合等离子体
德拜鞘层
氩
化学
无线电频率
工作职能
辉光放电
电极
离子
材料科学
感应耦合等离子体
物理
电气工程
有机化学
量子力学
物理化学
工程类
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| 其它 |
期刊：Applied Physics Letters 作者：De‐Qi Wen; Janez Krek; Jón Tómas Guðmundsson; Emi Kawamura; M. A. Lieberman; et al 出版日期：2023-12-25 |
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