Stable a-CSi:H films with a wide range of modulus of elasticity and low internal stress

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标题	Stable a-CSi:H films with a wide range of modulus of elasticity and low internal stress 具有宽弹性模量和低内应力的稳定a-CSi：H薄膜相关领域材料科学纳米压痕弹性模量复合材料弹性（物理）杨氏模量薄膜碳化硅无定形固体缩进模数结晶学纳米技术化学
网址	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2022.129147
DOI	10.1016/j.surfcoat.2022.129147 doi
其它	期刊：Surface and Coatings Technology 作者：Tomáš Plichta; Vaclav Sulc; Miloslav Ohlídal; Vladimír Čech 出版日期：2022-12-17
求助人	leo_twli 在 2024-10-30 10:31:05 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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