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 Influence of the plasma pressure on the microstructure and on the optical and mechanical properties of amorphous carbon films deposited by direct current magnetron sputtering 等离子体压力对直流磁控溅射非晶碳薄膜微观结构及光学和力学性能的影响
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Luiz G. Jacobsohn; F. L. Freire 出版日期：1999-09-01 |
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