Efficient level-set based mask optimization with a vector imaging model

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标题	Efficient level-set based mask optimization with a vector imaging model 基于水平集的矢量成像模型掩模优化相关领域浸没式光刻计算机科学光学接近校正平版印刷术抵抗光刻光学算法物理材料科学复合材料图层（电子）
网址	http://dx.doi.org/10.1117/12.2297273
DOI	10.1117/12.2297273 doi
求助人	zcj 在 2024-11-16 21:06:23 发布自海南，悬赏 20 积分
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