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 Photocatalytic assisted chemical mechanical polishing for silicon carbide using developed ceria coated diamond core-shell abrasives 二氧化铈涂层金刚石核壳磨料光催化辅助化学机械抛光碳化硅
相关领域
材料科学
碳化硅
抛光
钻石
光催化
芯（光纤）
碳化物
化学机械平面化
壳体（结构）
硅
冶金
复合材料
化学工程
催化作用
化学
生物化学
工程类
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期刊：Tribology International 作者：Xiaoxiao Zhu; Yaliang Gui; Hao Fu; Juxuan Ding; Zhangchao Mo; et al 出版日期：2024-05-26 |
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