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 Unrelated Parallel Machine Photolithography Scheduling Problem With Dual Resource Constraints 具有对偶资源约束的不相关并行机光刻调度问题
相关领域
光刻
作业车间调度
调度（生产过程）
计算机科学
数学优化
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期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing 作者：Haichao Chen; Peng Guo; Jesus Jimenez; Zhijie Sasha Dong; Wenming Cheng 出版日期：2022-01-01 |
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