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 Influence of bias voltage on the hardness and toughness of CrAlN coatings via magnetron sputtering 偏压对磁控溅射CrAlN涂层硬度和韧性的影响
相关领域
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溅射沉积
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期刊：Surface & Coatings Technology 作者：Yu Xi Wang; Sam Zhang; Jyh-Wei Lee; Wen Siang Lew; Bo Li 出版日期：2012-08-01 |
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