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标题
Low-temperature ALD/MLD growth of alucone and zincone thin films from non-pyrophoric precursors
非自燃前驱体低温ALD/MLD生长铝酮和锌酮薄膜
相关领域
原子层沉积 沉积(地质) 化学工程 化学 图层(电子) 材料科学 薄膜 纳米技术 无机化学 地质学 工程类 古生物学 沉积物
网址
DOI
10.1039/d2dt02279f doi
其它 期刊:Dalton Transactions
作者:Anish Philip; Lukas Mai; Ramin Ghiyasi; Anjana Devi; Maarit Karppinen
出版日期:2022-01-01
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