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 A review on effect of various high-k dielectric materials on the performance of FinFET device 不同高k介质材料对FinFET器件性能影响的研究综述
相关领域
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光电子学
晶体管
排水诱导屏障降低
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硅
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工程物理
栅极电介质
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期刊：Materials Today Proceedings 作者：J Naveen Ananda Kumar; Shilpi Birla; Garima Agarwal 出版日期：2022-11-30 |
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