Contribution of Ion Energy and Flux on High-Aspect Ratio SiO2 Etching Characteristics in a Dual-Frequency Capacitively Coupled Ar/C4F8 Plasma: Individual Ion Energy and Flux Controlled

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标题	Contribution of Ion Energy and Flux on High-Aspect Ratio SiO2 Etching Characteristics in a Dual-Frequency Capacitively Coupled Ar/C4F8 Plasma: Individual Ion Energy and Flux Controlled 离子能量和通量对双频电容耦合Ar/C4F8等离子体中高纵横比SiO2刻蚀特性的贡献：单个离子能量和通量控制相关领域电子原子物理学等离子体离子物理蚀刻（微加工）电子密度材料科学纳米技术图层（电子）量子力学
网址	http://dx.doi.org/10.1063/5.0126786 AI链接 figshare.com figshare.comdoi.org
DOI	10.1063/5.0126786 doi
其它	期刊：Journal of Public Health Management and Practice 作者：Paul C. Erwin; Charles B. Hamilton; Stephanie Welch 出版日期：2005-09-01
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