BEFORCE: a pathway to unravel metal oxide resist (MOR) reactions upon EUV exposure, bake, and environment

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标题	BEFORCE: a pathway to unravel metal oxide resist (MOR) reactions upon EUV exposure, bake, and environment BEFORCE：一种在EUV曝光、烘烤和环境下解开金属氧化物抗蚀剂(MOR)反应的途径相关领域抵抗极紫外光刻材料科学氧化物金属纳米技术冶金图层（电子）
网址	https://doi.org/10.1117/12.3034708
DOI	10.1117/12.3034708 doi
其它	期刊：作者：Ivan Pollentier; Fabian Holzmeier; Kevin M. Dorney; Hyo Seon Suh 出版日期：2024-11-12
求助人	Heidi 在 2024-12-23 09:29:15 发布自美国，悬赏 20 积分
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