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CuFeO2 prepared by electron cyclotron wave resonance-assisted reactive HiPIMS with two magnetrons and radio frequency magnetron sputtering
双磁控管电子回旋波共振辅助反应HiPIMS和射频磁控溅射制备CuFeO2
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期刊:Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者:Aneta Písaříková; J. Olejníček; I. Venkrbcová; L. Nožka; Stanislav Cichoň; et al 出版日期:2023-10-02 |
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