Enhancing Performance of Cross-Linking Negative-Tone Chemically Amplified Photoresists by Controlling Interfacial Interactions via Molecular Hydrophilicity Adjustment

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标题	Enhancing Performance of Cross-Linking Negative-Tone Chemically Amplified Photoresists by Controlling Interfacial Interactions via Molecular Hydrophilicity Adjustment 通过分子亲水性调节控制界面相互作用提高交联负性化学放大光致抗蚀剂的性能
网址	https://doi.org/10.1021/acs.chemmater.4c03166
DOI	10.1021/acs.chemmater.4c03166 doi
其它	期刊：Chemistry of Materials 作者：Siliang Zhang; Xuewen Cui; Xue Cong; Yurui Wu; Xudong Guo; et al 出版日期：2025
求助人	hkh 在 2025-02-28 09:51:44 发布自广西，悬赏 10 积分
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