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Atomic level surface on aspheric quartz crucible with large sizes induced by developed green chemical mechanical polishing with composite rare earth oxides
复合稀土氧化物绿色化学机械抛光诱导大尺寸非球面石英坩埚原子级表面
相关领域
材料科学
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期刊:Surfaces and Interfaces 作者:Honggang Sun; Zhenyu Zhang; Zhenling Zeng; Xiangxiang Cui; Cheng Fan; et al 出版日期:2024-08-01 |
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