Microtrenching geometry of 6H–SiCplasmaetching

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标题	Microtrenching geometry of 6H–SiCplasmaetching 6 H-SiC等离子体蚀刻的微槽几何形状
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X0...
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
求助人	Frank 在 2024-09-18 16:52:21 发布自安徽，悬赏 10 积分
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