Polysilane Bilayer uv Lithography

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标题	Polysilane Bilayer uv Lithography 聚硅烷双层紫外光刻相关领域聚硅烷抵抗材料科学平版印刷术薄脆饼双层光电子学聚合物分辨率（逻辑）纳米技术图层（电子）化学膜复合材料人工智能生物化学计算机科学
网址	https://doi.org/10.1117/12.941772
DOI	10.1117/12.941772 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：D. Hofer; Robert D. Miller; C. Grant Willson 出版日期：1984-05-21
求助人	嘻yyy 在 2024-06-04 16:36:40 发布自广东，悬赏 20 积分
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