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Impact of Post‐Lithography Polymer Residue on the Electrical Characteristics of MoS2 and WSe2 Field Effect Transistors
光刻后聚合物残留物对MoS2和WSe2场效应晶体管电学特性的影响
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期刊:Advanced Materials Interfaces 作者:Jierui Liang; Ke Xu; Blaec Toncini; Brian Bersch; Bhakti Jariwala; et al 出版日期:2018-12-03 |
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