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Responsivity and sensitivity of piezoelectric MEMS resonators at higher order modes in liquids
液体中高阶模压电MEMS谐振器的响应度和灵敏度
相关领域
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期刊:Sensors and Actuators A: Physical 作者:Georg Pfusterschmied; Florian Patocka; Christoph Weinmann; Michael Schneider; Daniel Platz; et al 出版日期:2019-08-01 |
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