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标题
Responsivity and sensitivity of piezoelectric MEMS resonators at higher order modes in liquids
液体中高阶模压电MEMS谐振器的响应度和灵敏度
相关领域
响应度 粘度 谐振器 材料科学 粘性液体 背景(考古学) 微电子机械系统 灵敏度(控制系统) 光学 光电子学 机械 复合材料 物理 电子工程 生物 工程类 古生物学 光电探测器
网址
DOI
10.1016/j.sna.2019.05.031 doi
其它 期刊:Sensors and Actuators A: Physical
作者:Georg Pfusterschmied; Florian Patocka; Christoph Weinmann; Michael Schneider; Daniel Platz; et al
出版日期:2019-08-01
求助人
走马 在 2024-03-13 09:58:19 发布自中国,悬赏 10 积分
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