Metal layer single EUV expose at pitch 28: how bright field and NTD resist advantages align

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标题	Metal layer single EUV expose at pitch 28: how bright field and NTD resist advantages align 间距28的金属层单EUV曝光：明场和NTD抗蚀剂优势如何对齐相关领域抵抗衰退潜影光学极紫外光刻材料科学偶极子物理光电子学计算机科学电信纳米技术解码方法图层（电子）图像（数学）人工智能量子力学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2584733
DOI	10.1117/12.2584733 doi
其它	期刊：作者：Joern-Holger Franke; Andreas Frommhold; Natalia Davydova; Remko Aubert; Vineet Vijayakrishnan Nair; et al 出版日期：2021-02-22
求助人	大松鼠在 2024-08-16 15:18:58 发布自浙江，悬赏 20 积分
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