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 Room-temperature deposition of low H-content SiNx/SiNxOy thin films using a specially designed PECVD system 利用特殊设计的PECVD系统室温沉积低H含量SiNx/SiNxOy薄膜
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期刊：Surface & coatings technology/Surface and coatings technology 作者：Wei Xu; Heli Tang; Qingyu Zhang; Nan Zhou; Yu Shen 出版日期：2020-11-01 |
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