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标题
Selective-area growth of β-Ga2O3 nanowire films on nano-patterned Si(111) substrate by metal-organic chemical vapor deposition
金属——有机化学气相沉积在纳米图案化Si(111)衬底上选择性区域生长β-Ga2O3纳米线薄膜
相关领域
金属有机气相外延 材料科学 纳米线 化学气相沉积 成核 异质结 退火(玻璃) 过饱和度 纳米技术 化学工程 光电子学 分析化学(期刊) 复合材料 图层(电子) 外延 化学 有机化学 工程类 色谱法
网址
DOI
10.1016/j.ceramint.2023.04.045 doi
其它 期刊:Ceramics International
作者:Wei Chen; Teng Jiao; Zhaoti Diao; Zhengda Li; Shengli Liu; et al
出版日期:2023-07-01
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