CMP of hard disk substrate using a colloidal SiO2 slurry: preliminary experimental investigation

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标题	CMP of hard disk substrate using a colloidal SiO2 slurry: preliminary experimental investigation 使用胶体SiO2浆料的硬盘基板CMP：初步实验研究相关领域化学机械平面化泥浆材料科学抛光波纹度胶体二氧化硅磨料表面粗糙度润滑油粒子（生态学）冶金表面光洁度基质（水族馆）复合材料粒径研磨化学工程涂层海洋学工程类地质学
网址	https://doi.org/10.1016/j.wear.2004.01.017
DOI	10.1016/j.wear.2004.01.017 doi
其它	期刊：Wear 作者：Hong Lei; Jianbin Luo 出版日期：2004-04-02
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