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 Deposition and characterization of ternary thin films within the Ti–Al–C system by DC magnetron sputtering Ti-Al-C系三元薄膜的直流磁控溅射沉积及表征
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Ola Wilhelmsson; J.-P. Palmquist; Erik Lewin; Jens Emmerlich; Per Eklund; et al 出版日期：2006-05-01 |
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