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 Plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) of SiOx thin films on Portuguese limestone: An experimental study 葡萄牙石灰岩上等离子体增强化学气相沉积SiOx薄膜的实验研究
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等离子体增强化学气相沉积
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期刊：Journal of Cultural Heritage 作者：Yufan Ding; Sabrina Grassini; Emma Paola Maria Virginia Angelini; Nick Schiavon 出版日期：2024-10-19 |
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