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 CNT-based pellicles for the next generation of EUV scanners 用于下一代EUV扫描仪的CNT基薄膜
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Takahiro Ueda; Márcio D. Lima; Tetsuo Harada; Takeshi Kondo 出版日期：2023-03-10 |
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