标题 |
Investigation of the surface optimization of β-Ga2O3 films assisted deposition by pulsed MOCVD
脉冲MOCVD辅助沉积β-Ga2O3薄膜的表面优化研究
相关领域
材料科学
金属有机气相外延
化学气相沉积
沉积(地质)
纳米技术
光电子学
外延
图层(电子)
生物
古生物学
沉积物
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DOI | |
其它 |
期刊:Scripta Materialia 作者:Tao Zhang; Qian Cheng; Yifan Li; Zhiguo Hu; Jinbang Ma; et al 出版日期:2022-02-26 |
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