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Investigation of the surface optimization of β-Ga2O3 films assisted deposition by pulsed MOCVD

材料科学 金属有机气相外延 化学气相沉积 沉积（地质） 纳米技术 光电子学 外延 图层（电子） 生物 古生物学 沉积物
作者
Tao Zhang,Qian Cheng,Yifan Li,Zhiguo Hu,Jinbang Ma,Yixin Yao,Yuxuan Zhang,Yan Zuo,Qian Feng,Yachao Zhang,Hong Zhou,Jing Ning,Chunfu Zhang,Jincheng Zhang,Yue Hao
出处
期刊：Scripta Materialia [Elsevier]
日期：2022-02-26 卷期号：213: 114623-114623 被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.scriptamat.2022.114623
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