High contact angle embedded barrier layer materials for next-generation 193 immersion lithography

已完结

文献求助详情

标题	High contact angle embedded barrier layer materials for next-generation 193 immersion lithography 用于下一代193浸入式微影的高接触角嵌入式阻挡层材料相关领域光刻胶浸没式光刻抵抗平版印刷术材料科学薄脆饼接触角光刻沉浸式（数学）聚合物纳米技术半导体器件制造图层（电子）光电子学复合材料纯数学数学
网址	https://doi.org/10.1117/12.2583735
DOI	10.1117/12.2583735 doi
其它	期刊：作者：Joshua A. Kaitz; Mingqi Li; Ryan Lee; Amy Kwok; Thomas Cardolaccia; et al 出版日期：2021-02-22
求助人	觞f 在 2024-10-26 14:22:15 发布自江苏，悬赏 20 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。
	温馨提示：该文献已被科研通学术中心收录，前往查看科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。

上个求助

下个求助

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

在科研通，轻松享有文献下载的自由

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2024年影响因子查询已上线 (2024-6-20)

更新

大幅提高文件上传限制，最高150M (2024-4-1)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 个性的冰夏发布了新的文献求助10

刚刚; CC发布了新的文献求助10

2秒前; 寂寞小笼包完成签到，获得积分10

2秒前; 7777777完成签到，获得积分10

4秒前; 溪与芮行完成签到，获得积分10

5秒前; 大模型的应助被wangjiahui采纳，获得10

5秒前; 安静的晓灵关注了科研通微信公众号

6秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

6秒前; rnf完成签到，获得积分10

6秒前; 英姑的应助被Lan采纳，获得10

6秒前; Hello上传了应助文件

7秒前; 小二郎的应助被a龙采纳，获得10

8秒前; 白路完成签到，获得积分10

8秒前; 田様上传了应助文件

9秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

10秒前; 在水一方上传了应助文件

11秒前; 大个的应助被个性的冰夏采纳，获得30

12秒前; Owen的应助被天使在云端采纳，获得10

12秒前; pzhxsy发布了新的文献求助10

13秒前; 蔬菜狗狗发布了新的文献求助10

13秒前; x1nger完成签到，获得积分10

14秒前; 有你发布了新的文献求助10

14秒前; 隐形曼青上传了应助文件

15秒前; FashionBoy上传了应助文件

17秒前; CDQ发布了新的文献求助10

17秒前; 李健的应助被醉熏的含桃采纳，获得10

17秒前; x1nger发布了新的文献求助10

20秒前; InfoNinja上传了应助文件

20秒前; 赘婿的应助被YWJ采纳，获得10

21秒前; 漂亮的倒挂金钩完成签到，获得积分10

21秒前; 斯文败类上传了应助文件

22秒前; 科研通AI2S的应助被123采纳，获得10

22秒前; 顾矜的应助被不期而遇采纳，获得30

23秒前; gxy上传了应助文件

28秒前; 蕾蕾子发布了新的文献求助10

28秒前; 酷波er上传了应助文件

28秒前; 小二郎上传了应助文件

28秒前; Maths完成签到，获得积分10

28秒前; 李健的粉丝团团长的应助被Sinaid采纳，获得10

29秒前; 约定看星星啊完成签到，获得积分10

29秒前