Scalable ferroelectricity of 20 nm-thick (Al0.8Sc0.2)N thin films sandwiched between TiN electrodes

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标题	Scalable ferroelectricity of 20 nm-thick (Al0.8Sc0.2)N thin films sandwiched between TiN electrodes 夹在TiN电极之间的20 nm厚（Al0.8Sc 0.2）N薄膜的可扩展铁电性相关领域铁电性材料科学电极薄膜锡光电子学电场溅射溅射沉积极化（电化学）纳米技术电介质冶金化学量子力学物理物理化学
网址	http://dx.doi.org/10.1063/5.0166288
DOI	10.1063/5.0166288 doi
求助人	春与修罗在 2025-04-03 10:48:51 发布自广东，悬赏 10 积分
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